Установка совмещения и экспонирования HMA68

HMA68 — это полностью автоматизированная установка совмещения и экспонирования контактной литографии. Оборудование применяется в производстве 3D-упаковки, светодиодов (LED), MEMS, полупроводниковых приборов, силовых компонентов и др.