Установка совмещения и экспонирования HMA68
HMA68 — это полностью автоматизированная установка совмещения и экспонирования контактной литографии. Оборудование применяется в производстве 3D-упаковки, светодиодов (LED), MEMS, полупроводниковых приборов, силовых компонентов и др.
Ключевые особенности
• Полностью автоматическая загрузка/выгрузка пластин
• Высокоточный механизм совмещения (до ±2 мкм)
• Автоматическая система корректировки ошибок и дефектов
• Поддержка различных режимов контакта (вакуум, мягкий, жесткий)
• Система интеллектуального контроля экспозиции с регулировкой дозы
• Встроенная система амортизации для снижения вибраций
• Высокоточный механизм совмещения (до ±2 мкм)
• Автоматическая система корректировки ошибок и дефектов
• Поддержка различных режимов контакта (вакуум, мягкий, жесткий)
• Система интеллектуального контроля экспозиции с регулировкой дозы
• Встроенная система амортизации для снижения вибраций
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер пластин | 6” и 8” |
| Максимальная толщина пластины | 10 мм |
| Размер фотошаблона | 8” × 8” / 7” × 7” (SEMI стандарт) |
| Габариты | 1400 × 1200 × 2300 мм |
| Масса | 400 кг |
| Оптическая система экспонирования | |
| Тип источника | LED |
| Длина волны | 365 нм, 405 нм |
| Интенсивность экспозиции | 0 ~ ≥40 мВт/см² |
| Равномерность интенсивности | ≤4% (8”) / ≤3% (6”) |
| Разрешение | |
| Вакуумный контакт | ≤1 мкм |
| Жесткий контакт | ≤1.5 мкм |
| Мягкий контакт | ≤2.2 мкм |
| Бесконтактная экспозиция (20 мкм) | ≤3.6 мкм |
| Система совмещения | |
| Точность совмещения верхней стороны | < ±1 мкм |
| Точность совмещения нижней стороны (опция) | < ±2 мкм |
| Диапазон фокусировки | 5 мм (верхняя и нижняя стороны) |
| Система перемещения | |
| Диапазон движения пластинодержателя | |
| X | ±5 мм |
| Y | ±5 мм |
| Θ | ±5° |
| Разрешение перемещения | 0.04 мкм |
| Производительность | |
| Стандартная производительность | до 120 пластин/час |
| Опционально | до 180 пластин/час |
| Напряжение питания | 230 В ± 10% (50-60 Гц) |
| Вакуум | < -0.8 кПа |
| Азот | > 0.5 МПа |
| Сжатый воздух | 0.6-0.8 МПа |