ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ (FRONT-END)

ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Оборудование для осаждения тонких пленок: термовакуумное распыление, магнетронное распыление, электроннолучевое осаждение, ионнолучевое осаждение, CVD-процессы

ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

Оборудование для ионного легирования

ЖИДКОСТНАЯ ОБРАБОТКА

Жидкостная обработка пластин и подложек: индивидуальная обработка, групповая обработка

ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ

Плазменное травление: реактивное ионное травление RIE, BOSCH-процесс

ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Фотолитографическое оборудование: совмещение и экспонирование, нанесение и проявление фоторезиста

БОНДИНГ И ДЕБОНДИНГ ПЛАСТИН

Оборудование для бондинга пластин: постоянный бондинг, временный бондинг и дебондинг пластин

ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ПЛАСТИН

Оборудование для термической обработки пластин: LPCVD печи, RTA печи, RTP печи, диффузионный отжиг, восстановительный отжиг, окислительный отжиг

ОБРАБОТКА ПЛАСТИН

Я не знаю, должна ли быть такая категория