Установка шлифовки кремниевых пластин WBG1818
WBG1818 — это высокоточная установка для шлифовки кремниевых пластин с поперечной подачей. Устройство предназначено для удаления избыточного материала с обратной стороны пластин, обеспечения высокой плоскопараллельности граней пластин и минимальной шероховатости поверхности.
Ключевые особенности
• Размер пластин: от 100 до 300 дюймов
• Шлифовальный диск: Ø300 мм (стандарт)
• Погрешность толщины после шлифовки: ≤ ±3 мкм
• Максимальная шероховатость: Ra ≤ 0.13 мкм
• Скорость вращения шпинделя: 1000–4000 об/мин
• Автоматическая система очистки вакуумного стола
• Шлифовальный диск: Ø300 мм (стандарт)
• Погрешность толщины после шлифовки: ≤ ±3 мкм
• Максимальная шероховатость: Ra ≤ 0.13 мкм
• Скорость вращения шпинделя: 1000–4000 об/мин
• Автоматическая система очистки вакуумного стола
Технические характеристики
Основные параметры:
Максимальные габариты: 3300 × 1400 × 1800 мм
Максимальная масса: 5000 кг
Рабочее напряжение: 380 В, трехфазное
Потребляемая мощность: 18 кВА
Максимальное потребление охлаждающей воды: 6,0 л/мин
Максимальное потребление воздуха (CDA): 400 л/мин
Система отвода пыли: внешний вентилятор, от 4,0 до 6,0 м³/мин
Шлифовальная система:
Тип шлифовки: вращение пластины с поперечной подачей
Диаметр шлифовального диска: Ø300 мм
Материал диска: алмазная связка
Скорость вращения шпинделя: 1000 – 4000 об/мин
Мощность шпинделя: 4,8 кВт
Минимальная толщина пластины после шлифовки: 100 мкм
Контроль шероховатости: Ra ≤ 0,13 мкм
Контроль плоскостности (TTV): ≤ 3 мкм
Автоматизация и управление:
Программируемая система управления
с сенсорным экраном: есть
Автоматическая подача и выгрузка пластин: есть
Система обнаружения центра пластины:с точностью до 0,5 мм
Высокоточный датчик измерения толщины: есть
Автоматическая чистка вакуумного стола с двухступенчатым процессом: есть
Дополнительные опции:
Увеличенная мощность шпинделя: до 8,5 кВт
Скорость вращения шпинделя: до 6000 об/мин
Повышенная точность шероховатости: до Ra ≤ 0.02 мкм
Регулировка угла наклона вакуумного стола: опционально
Максимальные габариты: 3300 × 1400 × 1800 мм
Максимальная масса: 5000 кг
Рабочее напряжение: 380 В, трехфазное
Потребляемая мощность: 18 кВА
Максимальное потребление охлаждающей воды: 6,0 л/мин
Максимальное потребление воздуха (CDA): 400 л/мин
Система отвода пыли: внешний вентилятор, от 4,0 до 6,0 м³/мин
Шлифовальная система:
Тип шлифовки: вращение пластины с поперечной подачей
Диаметр шлифовального диска: Ø300 мм
Материал диска: алмазная связка
Скорость вращения шпинделя: 1000 – 4000 об/мин
Мощность шпинделя: 4,8 кВт
Минимальная толщина пластины после шлифовки: 100 мкм
Контроль шероховатости: Ra ≤ 0,13 мкм
Контроль плоскостности (TTV): ≤ 3 мкм
Автоматизация и управление:
Программируемая система управления
с сенсорным экраном: есть
Автоматическая подача и выгрузка пластин: есть
Система обнаружения центра пластины:с точностью до 0,5 мм
Высокоточный датчик измерения толщины: есть
Автоматическая чистка вакуумного стола с двухступенчатым процессом: есть
Дополнительные опции:
Увеличенная мощность шпинделя: до 8,5 кВт
Скорость вращения шпинделя: до 6000 об/мин
Повышенная точность шероховатости: до Ra ≤ 0.02 мкм
Регулировка угла наклона вакуумного стола: опционально